潔凈室，亦稱(chēng)為凈化間，是一個(gè)嚴(yán)格控制空氣懸浮粒子濃度的環(huán)境。其設(shè)計(jì)初衷在于減少室內(nèi)粒子的誘入、產(chǎn)生與滯留，并對(duì)溫度、濕度、壓力等參數(shù)進(jìn)行精準(zhǔn)控制。潔凈室的潔凈程度通常以單位體積空氣中某粒徑粒子的數(shù)量來(lái)衡量。

　　潔凈室的潔凈度等級(jí)根據(jù)空氣中懸浮粒子濃度來(lái)劃分，數(shù)值越小，代表凈化級(jí)別越高。具體來(lái)說(shuō)，常見(jiàn)的潔凈度等級(jí)包括十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)、三十萬(wàn)級(jí)及百萬(wàn)級(jí)。

　　一、百級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)：

　　潔凈度：粒徑大于等于0.1微米的最大微粒數(shù)不得超過(guò)100個(gè)。

　　壓差及溫濕度：溫度控制在22℃±2℃，濕度控制在55%±5%。室內(nèi)需滿布FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元)，設(shè)置高架地板，并采用MAU+FFU+DC系統(tǒng)維持正壓，相鄰房間壓力梯度保持在10pa左右。

　　照度：鑒于無(wú)塵潔凈室工作的精細(xì)性和密閉性，對(duì)照明有較高要求。采用局部照明與混合照明相結(jié)合的方式，確保工作面上有足夠的光線。

　　二、千級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)：

　　潔凈度：每立方米空氣中，小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，達(dá)到國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。對(duì)于高級(jí)芯片生產(chǎn)，微塵數(shù)量更是被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)。

　　壓差及溫濕度：為防止外界污染侵入，需保持內(nèi)部靜壓高于外部。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間，潔凈度級(jí)別高的空間壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間。

　　三、萬(wàn)級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)：

　　潔凈度：大于等于0.5um的塵粒數(shù)大于35000粒/m3到小于等于350000粒/m3。

　　溫度及濕度：通過(guò)干盤(pán)管系統(tǒng)控制，空調(diào)箱根據(jù)感測(cè)信號(hào)調(diào)節(jié)三通閥開(kāi)度，進(jìn)而調(diào)節(jié)盤(pán)管進(jìn)水量。

　　四、十萬(wàn)級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)：

　　潔凈度：工作車(chē)間內(nèi)每立方米的微?？刂圃?0萬(wàn)以內(nèi)，主要應(yīng)用于電子、藥品及食品等行業(yè)。每小時(shí)換氣次數(shù)在15-19次，完全換氣后空氣凈化時(shí)間不超過(guò)40分鐘。

　　壓差：相同潔凈度等級(jí)的潔凈室壓差保持一致，不同潔凈等級(jí)的相鄰潔凈室之間壓差要≥5Pa，潔凈室與非潔凈室之間要>10pa。

　　溫度及濕度：溫度控制在冬季20~22℃，夏季24~26℃，濕度控制在冬季30-50%，夏季50-70%。主要生產(chǎn)用房照度值宜>300Lx，輔助工作室、走廊等照度值宜為200~300Lx。

　　五、三十萬(wàn)級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)：

　　潔凈度：每立方米大于或等于0.5um的塵粒最多不能超過(guò)10,500,000個(gè);每立方米大于或等于5um的塵粒最多不能超過(guò)60,000個(gè);每立方米浮游菌數(shù)量最多不能超過(guò)1000個(gè)。

　　壓差及溫度控制：不同潔凈級(jí)別室(區(qū))之間，靜壓差大于或等于5PA;潔凈室(區(qū))與室外，靜壓差大于或等于10PA。

　　六、百萬(wàn)級(jí)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)：

　　潔凈度測(cè)試：包括空態(tài)測(cè)試和靜態(tài)測(cè)試，確保潔凈室在不同運(yùn)行狀態(tài)下均能達(dá)到預(yù)期的潔凈度。

　　送風(fēng)量或風(fēng)速：根據(jù)潔凈度要求，確保足夠的通風(fēng)換氣量，經(jīng)過(guò)初效、中效、高效(甚至超高效)過(guò)濾，確保室內(nèi)空氣質(zhì)量。

　　送風(fēng)量或風(fēng)速

　　足夠的通風(fēng)換氣量是為了稀釋和排除室內(nèi)污染空氣,根據(jù)不同的潔凈度要求,當(dāng)潔室凈高較高時(shí),適當(dāng)增加換氣次數(shù)。其中,100萬(wàn)級(jí)潔室的通風(fēng)量是按高中效浄化系統(tǒng)考慮,其余均按高效浄化系統(tǒng)考慮。般要經(jīng)過(guò)初效過(guò)濾、中效過(guò)濾、高效過(guò)濾三個(gè)過(guò)濾段(甚至還有超高效過(guò)濾器，四段過(guò)濾)。氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆粒→回風(fēng)百葉窗→初效凈化，重復(fù)這樣的一系列過(guò)程，即可達(dá)到凈化的目的。