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蘇州昆山潔凈室裝修工程-光學微電子車間

作者:上海瀾盛凈化工程有限公司 發(fā)布時間:2023-04-10 16:08:17 點擊:1

  本次設(shè)計設(shè)計為蘇州昆山微電子有限公司二層潔凈廠房的凈化空調(diào)工程設(shè)計,按照業(yè)主的要求設(shè)計為百級、千級、萬級、十萬級潔凈室。具體潔凈度及溫濕度要求詳見平面圖。施工范圍包括潔凈廠房結(jié)構(gòu)裝修、潔凈空調(diào)通風系統(tǒng)、空調(diào)冷凍站、相關(guān)照明空調(diào)插座配電、工藝管道(空壓、真空、純水、冷卻水)等。同時根據(jù)凈化車間設(shè)備要求在局部設(shè)機械排風系統(tǒng)。

微電子車間平面圖

  1.總面積1680平方米,建筑高度為4.6m,大梁高度3.7m,凈化車間吊頂高度為2.6m;

  2.無塵房標準按靜態(tài)驗收,溫度、相對濕度參數(shù)詳細見下表;

房間名稱

潔凈度級別

溫度(°c

濕度(%

面積(

送風量(m3/h)

熱壓房

萬級

23±3

55±10

678.4

50000

中清洗房

萬級

洗網(wǎng)房

萬級

顯影 脫膜

萬級

曝光房

百級

62

68000

貼合間

百級

38

45000

PI印刷房

百級

25

30000

PI預烘房

千級

47

7000

絲印房

千級

71.6

12000

定向間

千級

45

6800

固化房

千級

36

5500

更衣室

十萬級

57

2500

投料房

十萬級

29

1500

  3.玻璃窗距離地面1.1m,空調(diào)車間觀察窗采用5mm白色玻璃;

蘇州昆山潔凈室裝修工程圖片

  4.單人雙吹風淋室,外尺寸1000*1590*2050.雙人雙吹風淋室,外尺寸2000*1590*2050.

  6.更衣室衣柜采用不銹鋼支架FFU吹淋衣柜(參考參觀樣式)。

  7.潔凈車間金屬壁板墻:50厚金屬壁板(板厚0.426聚苯乙烯夾芯),用于潔凈室內(nèi)隔墻。

  8.潔凈室吊頂:

  千級、萬級、十萬級及準潔凈區(qū)一次彩鋼板天花吊頂,吊頂高度2.6m;吊頂潔凈板材采用50厚金屬壁板(板厚0.426,手工玻鎂板)。

  百級潔凈區(qū):T-GRID龍骨吊頂,吊頂高度2.6m。

  二次彩鋼板吊頂(技術(shù)夾層)高度4.2,裸露梁體做環(huán)氧漆處理。

  輔助用房吊頂采用烤漆龍骨+硅酸鈣板吊頂,吊頂高度3.2米。

  9. 地面:

  潔凈室頂面采用自流平環(huán)氧樹脂地面,厚2mm;定向間采用防靜電環(huán)氧地坪,局部車間采用防腐蝕環(huán)氧樹脂地面,百級潔凈車間內(nèi)采用鑄鋁高架地板,架空高度300mm,尺寸為600*600*40。

萬級潔凈區(qū)圖片


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